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3D干涉扫描显微镜
 

Nexensor应半导体和FPD行业新检测工艺的需求,研发和制造超高速大范围干涉显微镜系统。js345金沙城娱乐场线路的3D干涉显微镜可以测量单层膜形状和产品的 细微3D表面形貌如u-bumps fine patterns

 

 

XI-M12参数表

视野范围

12mm×12mm

可定制大范围和显微镜结构

重复精度

0.1μm

对于标准样品

垂直扫描速度

0.5

对于100μm高度

检测物体

测量单层膜厚度和形貌,测量3D表面形貌如弯曲、高度等。

 

 

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